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電機設備總體結構及其運行概述

電機設備總體結構及其運行概述

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級別:| 積分:0 分 | 瀏覽:81811 | 大小:27.50KB | 下載:5861 次 | 上傳:2013-07-30

簡介:

近年來,隨著微/納米技術的迅猛發(fā)展,對驅動精度的要求在納米級的水平。在光學工程、微電子制造、航空航天、超精密機械制造、微機器人操作、地震測量、生物、醫(yī)學及遺傳工程等技術領域的研究都迫切需要亞微米級、微/納米級的超精密驅動,因此,各種微特電機得到了快速的發(fā)展。

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