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襯底對薄膜光學(xué)特性的研究

襯底對薄膜光學(xué)特性的研究

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級別:| 積分:60 分 | 瀏覽:77592 | 大小:16.50KB | 下載:4300 次 | 上傳:2014-03-17

簡介:

本文采用PECVD法制備非晶硅薄膜,采用了氮化硅、氧化硅、單晶硅和鉑四種襯底,研究在不同襯底上制備的非晶硅薄膜的光學(xué)特性。

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