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直拉硅單晶工藝學(xué)

直拉硅單晶工藝學(xué)

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級別:| 積分:60 分 | 瀏覽:81836 | 大。891.75KB | 下載:4468 次 | 上傳:2013-09-30

簡介:

硅單晶是一種半導(dǎo)體材料。直拉單晶硅工藝學(xué)是研究用直拉方法獲得硅單晶的一門科學(xué),它研究的主要內(nèi)容:硅單晶生長的一般原理,直拉硅單晶生長工藝過程,改善直拉硅單晶性能的工藝方法。

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